Danh mục

Developed by JoomVision.com

Số lượt truy cập

mod_vvisit_countermod_vvisit_countermod_vvisit_countermod_vvisit_countermod_vvisit_countermod_vvisit_countermod_vvisit_countermod_vvisit_countermod_vvisit_counter
mod_vvisit_counterHôm nay292
mod_vvisit_counterHôm qua0
mod_vvisit_counterTuần này292
mod_vvisit_counterTuần rồi0
mod_vvisit_counterTháng này292
mod_vvisit_counterTháng rồi0
mod_vvisit_counterTất cả292

Hiện có: 99 khách, 3 bots đang trực tuyến

Lựa chọn bơm chân không không dầu cho chân không thường và chân không cao


Выбор безмасляного (сухого) насоса для форвакуума и высокого вакуума - Lựа chọn bơm không dầu (khô) cho chân không thường và chân không cao
Направления развития безмасляных средств вакуумной откачки

сухой вакуумный насос

Полупроводниковая промышленность на протяжении последних лет была главным локомотивом развития вакуумной техники. Однако, активное наполнение в настоящее время современным технологическим оборудованием таких отраслей, как металлургия, химическая промышленность и др. также использующих вакуумное оборудование, позволяет им оказывать все большее влияние на его развитие. Кроме того, активно стали развиваться области полупроводниковой промышленности, не относящиеся напрямую к процессу изготовления микро- и наноэлектронной техники — например, фотоэлектротехника (photovoltaics) и все, что связано с изготовлением и использованием фотоэлементной аппаратуры для солнечной энергетики, плоскопанельные дисплеи и т. п.
Эти относительно новые области применения вакуумной техники формируют собственные требования к оборудованию — повышенный уровень надежности при длительной непрерывной работе и повышенной газовой нагрузке, толерантность к пыли и твердым частицам, обеспечение высокой производительности в диапазоне давлений от 1000 до 0,0001 мбар. Эти и ряд других факторов, оказывающих существенное влияние на развитие вакуумной техники несколько развернули устремления разработчиков от высоковакуумных к форвакуумным и системам, обеспечивающим средний вакуум — как правило, до 0,0001 мбар.
Форвакуумные средства откачки
Как отмечалось в [1] основной особенностью развития средств вакуумной откачки на протяжении последних лет является стремление избавиться от вакуумных масел и других рабочих жидкостей. Эта тенденция настолько сильна, что получает развитие даже в таких областях применения вакуумной техники, где этим вопросам до последнего времени не уделяли много внимания — прежде всего, в вакуумной металлургии. В [2] показаны основные особенности и преимущества замены паромасляных и традиционных механических насосов с масляным уплотнением на безмасляные откачные системы на базе сухих механических насосов: существенное энергосбережение и простота эксплуатации, отсутствие необходимости утилизации рабочих жидкостей и, наконец, другой качественный уровень получаемой продукции. В табл. 1 показаны основные типы безмасляных механических форвакуумных насосов для промышленного использования, их типичные характеристики и производители.
 
Табл. 1. Основные характеристики механических безмасляных форвакуумных насосов.

Принцип действия

Основные производители

Предельный вакуум, мбар

Диапазон быстроты действия, м3/ч

Когтевой (со ступенью Рутса)

Busch, Edwards

0,05

80-600

Винтовой

Busch, Ebara, Edwards, Hanbell, Kashiyama, Leybold (LOT Vacuum), Pfeiffer, Shinko Seiki, Sterling SIHI, Toyota, Ulvac

0,001

75-1300

Многоступенчатый Рутса

Adixen (Alcatel), Kashiyama

0,01

90-220

 
Многие производители устанавливают на форвакуумный насос дополнительный насос Рутса, в результате чего примерно на порядок вырастает предельный вакуум, и до нескольких раз — производительность. Так, характерная производительность таких систем обычно 600-2500 м3/ч, а предельный вакуум — 0,005-0,0001 мбар. Кроме того, существуют специальные решения для откачки камер больших объемов или для работы с высокими газовыми нагрузками с производительностью в десятки тысяч м3/ч.
Также существенной частью рынка безмасляных механических форвакуумных систем являются установки роста различных кристаллических структур — поли- и монокристаллического кремния для изготовления подложек микроэлектронной техники, солнечных батарей и плоскопанельных дисплеев, сапфира для разнообразных промышленных применений и т. п. Данные приложения предъявляют повышенные требования к надежной безостановочной работе откачных средств в условиях высоких газовых нагрузок и при наличии твердых примесей в откачиваемом газе.
Лидирующими технологиями в данной области являются когтевые, винтовые и многоступенчатые насосы Рутса. Это полностью бесконтактные насосы, откачка в которых обеспечивается вращением роторов специальной формы, зазоры между которыми очень малы — до микрометров, поэтому уровень обратного потока газа также крайне мал. Форма роторов когтевого насоса показана на рис. 1, винтового — на рис. 2, а многоступенчатого Рутса — на рис. 3.
 
Описание: http://images.allexpo.ru/209/file1102.jpg Описание: http://images.allexpo.ru/209/file1103.jpg Описание: http://images.allexpo.ru/209/file1104.jpg
Рис. 1. Когтевой форвакуумный насос
Рис. 2. Роторы винтового насоса
 
Рис. 3. Многоступенчатый насос Рутса
 
Когтевой насос выполняется в виде многоступенчатой (обычно состоящей из 3 или 4 ступеней) машины, где одной из ступеней является двухроторная ступень Рутса, остальные — когтевые. Главным игроком и обладателем патента на данную конструкцию является компания Edwards.
Винтовые насосы имеют несколько вариантов конструкции — с переменным и постоянным шагом, с напуском газа в торце и в центре роторов, вертикальные и горизонтальные. Такое многообразие конструкций обусловлено тем, что данная технология развивалась наиболее бурно, так как развитие когтевой конструкции было ограничено патентом Edwards. В настоящий момент винтовые насосы обеспечивают, пожалуй, наилучшие технические и эксплуатационные характеристики среди всех безмасляных конструкций (табл. 1), что косвенно признает и главный апологет когтевой конструкции Edwards, поскольку он начал выпуск и винтовых насосов. Наиболее заметными игроками в данной области являются японские Ebara и Ulvac, имеющие хорошие позиции в Японии и Азии, корейский LOT Vacuum, распространенный в Южной Корее и Европе (под брендом Leybold), а также тайваньский «азиатский тигр» Hanbell, стремительно занимающий лидирующие позиции в Тайване, где сконцентрировано сейчас основное производство полупроводников, кремниевых пластин и плоскопанельных дисплеев, Китае, где активно развиваются данные отрасли, а также выходит на рынки Европы и США. В вакуумной металлургии активные позиции имеют винтовые насосы SIHI.
 
 Еще одной технологией безмасляных форвакуумных насосов для промышленного использования является конструкция, объединяющая несколько ступеней Рутса. Основными игроками здесь являются японская Kashiyama и французский Adixen (Alcatel). Данная технология не получила такого активного, как винтовая, развития в силу своей наибольшей среди других конструкций «чувствительности» к грязным и тяжелым, с эксплуатационной точки зрения, технологическим процессам. Данная конструкция предполагает достаточно сложную и длинную конструкцию вакуумных трактов между ступенями, где могут накапливаться нежелательный конденсат и чужеродные частицы, откачиваемые вместе с рабочим газом. Указанные типы насосов широко применяются в промышленных приложениях таких отраслей как металлургия, химическая промышленность, полупроводники, установки роста кристаллов, плоскопанельные дисплеи и др.
Для лабораторных и «чистых» приложений используются безмасляные форвакуумные спиральные насосы (рис. 4). Поскольку их развитие ограничивается в основном лабораторными системами, характерный диапазон быстроты действия составляет от 3 до 35 м3/ч. Предельный вакуум, обеспечиваемый такими насосами обычно составляет 0,01 мбар. Наиболее заметными игроками в данном сегменте являются компании Anest Iwata, родоначальник данной конструкции насосов, имеющая самую широкую линейку с производительностью до 60 м3/ч, Varian, Edwards, Busch, также занимающие заметную долю этого рынка. Надо сказать, что многие компании предлагают насосы Anest Iwata под собственными брендами — такие как, например, Leybold (Oerlikon) и Ulvac.
 
Описание: xds2
Рис. 4. Безмасляный форвакуумный спиральный насос.
 
Конкурирующие решения для лабораторных и «чистых» приложений предлагают компании Adixen — многоступенчатые насосы Рутса малой производительности от 14 до 38 м3/ч, Pfeiffer и Leybold (Oerlikon) — поршневые безмасляные насосы с быстротой действия от 15 до 40 м3/ч.
В приложениях, где необходимо достигать вакуум уровня 1 мбар и хуже используют диафрагменные (мембранные) безмасляные насосы — для «чистых» и химико-технологических лабораторных применений; пластинчато-роторные безмасляные насосы для промышленных установок средней производительности — до 200-300 м3/ч; двухроторные (Рутса) и вихревые газодувки для больших промышленных систем нефтехимической, энергетической и других областей, где необходима откачка больших объемов газа до давлений уровня 100-500 мбар с производительностью в десятки тысяч м3/ч.
Несмотря на вышеизложенное, во всем мире продолжается использование и классических форвакуумных откачных средств с масляным уплотнением, однако оно сокращается, а в таких отраслях, как полупроводниковая промышленность и ряде других высокотехнологичных областей практически полностью прекращено. Главным ограничителем повсеместного перехода на безмасляные средства откачки, как правило, является их более высокая стоимость. Однако, как показывает практика, за счет более низких издержек на обслуживание и утилизацию рабочих жидкостей, особенно в промышленных приложениях, стоимость владения безмасляных систем оказывается ниже, чем масляных.
Высоковакуумные средства откачки
В данной области также прослеживается четкое стремление избавиться от масел и рабочих жидкостей. Например, несмотря на дешевизну диффузионных насосов, их использование пытаются максимально сократить во многих областях, до последнего времени считавшихся нечувствительными к остаточным парам рабочих жидкостей в вакуумной камере — электротермическое оборудование, вакуумные печи и т. п. Там, где полный отказ невозможен или слишком дорог используются различные ловушки, снижающие количество масляных паров в рабочей области [3].
Наиболее активно развивающимися высоковакуумными безмасляными откачными средствами являются турбомолекулярные и криовакуумные насосы. Магниторазрядные насосы в последние годы развивались не столь сильно, в силу специфичности приложений их использования и ограниченности их производительности в 1000-1200 л/с. Однако, нужно отметить, что данный тип насосов активно используется в приложениях, где необходимо получать высокий и сверхвысокий вакуум (до 10-10 торр) и удерживать его длительное время (например, несколько месяцев) — ускорительно-накопительные системы, физика элементарных частиц и т. п.
В области турбомолекулярных насосов можно отметить сразу несколько тенденций:
активное распространение так называемых гибридных конструкций, объединяющих турбомолекулярную и молекулярную ступени. Это позволяет лучше откачивать легкие газы, такие как гелий и водород, и увеличивать максимально допустимое давление в форлинии. В настоящий момент доступны модели насосов, имеющие штатное постоянное давление в форлинии до 10-12 мбар;
доминирование насосов на магнитном подвесе ротора (рис. 5). Данная технология позволяет существенно увеличить наработку на отказ подшипников ротора, поскольку он вращается, левитируя в вакууме в магнитном поле, и трение полностью отсутствует. Эти насосы полностью гарантируют технологический процесс от попадания даже единичных молекул смазки, поскольку она совершенно отсутствует, в отличие от насосов с жидкой или консистентной смазкой, которая хоть и находится внутри закрытых керамических подшипников и обладает крайне малым давлением насыщенных паров — обычно уровня 10-14 мбар, все же допускает теоретическое попадание одиночных молекул в откачиваемый объем. Хотя, нужно сказать, что и данные турбомолекулярные насосы обычно называют безмасляными, поскольку при их работе крайне низка вероятность попадания даже одиночных молекул смазки в откачиваемый объем. Насосы с магнитным подвесом ротора более чувствительны к резкому росту давления в вакуумной камере («прорыву атмосферы»), поскольку их роторы испытывают в том числе и ударную нагрузку при посадке на полной скорости на резервные подшипники. Обычно производители оговаривают характерное количество таких аварийных посадок до необходимости технического обслуживания — оно может составлять от нескольких десятков до нескольких сотен.
В данном сегменте свою долю имеют все ведущие производители вакуумного оборудования — Alcatel, Busch, Edwards, Leybold, Pfeiffer, Osaka Vacuum, Shimadzu, Ulvac, Varian.
 
Описание: http://images.allexpo.ru/209/file1106.jpg Описание: http://images.allexpo.ru/209/file1108.jpg
Рис. 5. Турбомолекулярный насос на магнитном подвесе.
Рис. 6. Крионасос Ду 600 мм с двумя рефрижераторами Гиффорда-МакМагона.
Рис. 5. Турбомолекулярный насос на магнитном подвесе.
В сегменте криовакуумных насосов развитие сказывается, прежде всего на увеличении надежности работы криоголовки и компрессора, а также, к созданию «ударных» моделей и, соответственно, завоевание того или иного сектора рынка. Например, компания Suzuki Shokan разработала и производит крионасос с Ду 320 мм, производительность которого в 1,5 раза выше, чем у конкурентов. Это позволило в относительно короткий срок занять доминирующее положение на полупроводниковом рынке Японии и Юго-восточной Азии в области обработки 300 мм подложек, а наличие одних из лучших по производительности и надежности компрессоров и криоголовок и для насосов других размеров дает возможность компании на равных соперничать с таким признанным грандом японской вакуумной техники как Ulvac, которой подобный подход в свое время позволил завоевать лидирующие позиции в области 200 мм подложек. На рынках США и Европы лидером является компания CTI Cryogenics, заметные позиции также имеют Austin Scientific и SHI Cryogenics.
В области крионасосов большой производительности с Ду более 500 мм (рис. 6) свои решения предлагают такие компании, как HSR, Leybold, PHPK, Suzuki Shokan, Ulvac.
Тенденции развития потребителей безмасляного вакуумного оборудования

 

Tìm kiếm bởi: Gmail  dosearches Send a message via Yahoo to anhhungvnYahoo  Bing You tube  Google   Dịch  Ask  facebook

 Wada.vn-Tìm Kiếm Việt - Công cụ tìm kiếm mọi thông tin trên internet dành riêng cho tiếng Việt

      (Tìm kiếm mọi thông tin về đời sống xã hội, web, chủ thuê bao của email, điện thoại DĐ- ĐT bàn, Fax...) Thư dãn             Trang web Quang Tiềnquangtien-vac.com.vn quangtien.vn  Facebook Quang Tiền & Bơm chân không

Bài gửi Đại lý vé máy bay SONG VÂN 0903604158 - 0163365697  vemaybaygiaresongvan@gmail.com

   G+Xem hình Quangtien-vac tại Yahoo- Xem hình Quangtien-vac tại Bing Images

Xem hình quangtien-vac tại Google - Xem hình C.ty Quang Tiền qua DĐ 0903809209 Quang tiền  
Khuyến cáo: Quang Tiền tư vấn và cung cấp thiết bị liên quan tới ứng dụng của chân không và tổng hợp các thông tin liên quan tới ứng dụng của chân không trong thực tiễn. Vui lòng không làm phiền bởi các dịch vụ chào mời. Xin cám ơn!...

Bài gửi  VUI LÒNG KHÔNG LÀM PHIỀN BỞI DỊCH VỤ CHÀO MỜI - MÔI GIỚI Bài gửi

Joomla 1.5
You are here:

Tư vấn công nghệ hút chân không - Bơm hút chân không vòng nước Bơm chân không vòng nước Quang Tiền Máy bơm hút chân không vòng nước - Máy bơm chân không vòng nước Công ty Quang Tiền - Bơm chân không vòng chất lỏng Quang Tiền Máy bơm hút chân không vòng chất lỏng - Sửa chữa bơm hút chân không vòng nước - Sửa chữa bơm hút chân không vòng chất lỏng - Sửa chữa bơm hút chân không các loại - Chế tạo mới bơm hút chân không vòng nước mang thương hiệu Quang Tiền Sửa chữa máy bơm hút chân không vòng nước các loại -Bảo trì các loại bơm hút chân không - Cho thuê máy bơm hút chân không các loại & Máy cắt gạch Tuynel tự động (Hình ảnh) - Phụ tùng phụ kiện chân không - Kinh doanh mua bán dầu nhớt bơm chân không Sửa chữa máy thổi khí các loại - Thiết kế chế tạo lắp đặt hệ thống hút chân không trung tâm - Kinh doanh mua bán các loại máy bơm hút chân không - Kinh doanh mua bán các loại đồng hồ đo áp lực chân không - Kinh doanh mua bán Van điều chỉnh áp suất chân không - Kinh doanh mua bán máy thổi khí ngoại nhập các loại - Thiết kế chế tạo máy cắt gạch Tuynel tự động - Dịch vụ cân bằng động tại Quang Tiền - Dịch vụ vận tải hàng hóa bằng đường bộ - Máy nghiền xa luân và máy cắt gạch tự động Quang Tiền - Thiết bị tạo hình sản xuất gạch Tuynel Quang Tiền - Kinh doanh phân phối tấm lợp, ngói lợp phía nam (Nguyễn Đình Quân ĐT0908017898) - Website Quang Tiền - Website Quang Tiền - quangtien water ring vacuum pump ..

 Hình bơm hút chân không Hình bơm chân không Quang Tiền - Hình bơm hút chân không vòng chất lỏng - Hình Máy cắt gạch tuynel tự động Quang Tiền  K13MB

Hình cân bằng động tại Quang Tiền    Hình bơm hút chân không vòng nước Quang Tiền tại Wada.vn Hình bơm hút chân không Quang Tiền  

Hình máy bơm hút chân không các loại tại C.ty Quang Tiền Hình máy cắt gạch Tuynel tự động Quang Tiền Hình Quang Tiền BẢN ĐỒ TỚI C.TY